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    分类:钛材料

    产品编号:1592206550

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    关键词:钛靶价格钛靶供应钛靶厂家

    密度为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶
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    分类:钛材料

    产品编号:1592206485

    浏览次数:22

    关键词:钛靶价格钛靶供应钛靶厂家

    度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”,8“发展到12”,而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0
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    分类:钛加工件

    产品编号:1592206411

    浏览次数:2

    关键词:钛靶价格钛靶供应钛靶厂家

    杂质含量靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

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