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鈦靶

鈦靶

  • 所屬分類:鈦材料
  • 瀏覽次數:
  • 發布日期:2020-07-06 17:13:01
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

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密度

為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。


靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要汙染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如,半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

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